氨法脫硫工藝中，氨水與SO2結合轉化為亞硫酸銨，亞硫酸銨再經空氣氧化成硫酸銨；
而亞硫酸銨在氧化過程中是需要往脫硫塔中鼓入大量的空氣使其發生氧化反應，
但NH4+對氧化過程有阻尼作用，導致亞硫酸銨氧化速率慢、氧化不**、獲得硫酸銨產物少。

富氧工藝通過增加空氣中的氧濃度，提高氧分壓，加快氧分子轉移速度，使空氣氧化能力提高；
氧化能力增強后可以抵消部分NH4+對氧化過程的阻尼作用，進而加快了亞硫酸銨的氧化速率，
使其氧化**，獲得較多的硫酸銨產物。